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公司資訊
充氣柜真空箱檢漏系統(tǒng)廠家供應「多圖」
2021-06-18






氦質譜檢漏儀的主要及時指標

科儀是專業(yè)生產(chǎn)氦質譜檢漏儀的廠家,專業(yè)用于電廠檢漏。關鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。今天科儀的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。

1. 較小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 啟動時間:≤5min

4. 響應時間:≤1s

5. 檢漏口的較高壓力:1500Pa

6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A

7. 工作環(huán)境:5-35℃

8. 相對濕度:≤80%

9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)

10. 重量:64kg



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氦質譜檢漏儀

北京科儀真空技術有限公司是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

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氦質譜檢漏儀的原理

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。

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